| 发明名称 |
Kapasitiivinen absoluuttisen paineen mittausilmaisin ja menetelmä useiden tällaisten ilmaisimien valmistamiseksi |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FI940589(A) |
申请公布日期 |
1994.08.13 |
| 申请号 |
FI19940000589 |
申请日期 |
1994.02.09 |
| 申请人 |
CSEM, CENTRE SUISSE D'ELECTRONIQUE ET DEMICROTECHNIQUE SA |
发明人 |
RENAUD, PHILIPPE |
| 分类号 |
G01L7/00;G01L9/00;G01L9/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/12 |
主分类号 |
G01L7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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