Verfahren zur Darstellung von leitenden oder supraleitenden dünnen Schichten.,申请号DE19883889687T-传众专利搜索

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发明名称	Verfahren zur Darstellung von leitenden oder supraleitenden dünnen Schichten.
摘要
申请公布号	DE3889687(T2)	申请公布日期	1994.09.08
申请号	DE19883889687T	申请日期	1988.03.18
申请人	KOINUMA, HIDEOMI, TOKIO/TOKYO, JP;SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD., ATSUGI, KANAGAWA, JP	发明人	KOINUMA, HIDEOMI, SUGINAMI-KU TOKYO, JP;HASHIMOTO, TAKUYA, NARASHINO-SHI CHIBA, JP;FUEKI, KAZUO, SETAGAYA-KU TOKYO, JP
分类号	H01B13/00;B32B18/00;C04B35/45;C04B41/50;C04B41/85;H01B12/06;H01C7/10;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24;C04B41/87	主分类号	H01B13/00
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