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发明名称 ELIMINAZIONE DI SCARICHE A TERRA INDESIDERATE, IN CANNONI A PLASMA A RADIOFREQUENZA
摘要
申请公布号 IT1245926(B) 申请公布日期 1994.11.05
申请号 IT19890022121 申请日期 1989.10.25
申请人 GENERAL ELECTRIC COMPANY 发明人 FRIND GERHARD
分类号 B65D5/52;B65D5/54;H05H1/46;(IPC1-7):H05H;F41F 主分类号 B65D5/52
代理机构 代理人
主权项
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