| 摘要 |
공간 광변조기로서, 기판과, 기판의 표면에 배치된 고정 전극과, 표면에 일단이 연결된 연결부와, 연결부의 타단에 연결되고, 연결부의 탄성 변형에 의해 기판에 대해 요동하는 가동부와, 가동부에 일단이 결합되어 기판의 두께 방향으로 연장되고, 가동부와 일체적으로 요동하는 지주부와, 지주부의 타단에 결합되고, 가동부 및 지주부와 일체적으로 요동하는 반사면을 가지는 반사 부재와, 반사 부재에서 고정 전극에 대향하는 면에 배치된 가동 전극과, 가동 전극의 막 두께보다 큰 막 두께를 갖고 지주부에 배치되고, 가동부 및 가동 전극의 사이를 전기적으로 결합하는 도체층을 구비한다. |
