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发明名称 APPARATUS USING RF PLASMA
摘要
申请公布号 KR950005389(Y1) 申请公布日期 1995.07.08
申请号 KR19920010408U 申请日期 1992.06.12
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO., LTD. 发明人 JONG, SOK - RYOL;LEE, HYONG - KI;MIN, IN - HUNG
分类号 H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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