EXPOSURE APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING ARTICLE

摘要

노광 장치는, 기판을 노광하기 위한 광학계를 구비한다. 상기 광학계는, 광학부재와, 상기 광학부재를 홀딩하는 홀딩부와, 상기 홀딩부와 상기 광학부재를 서로 누르는 가압부와, 서로 눌려진 상기 광학부재와 상기 홀딩부에 의해 형성된 공간에 충전되고, 상기 광학부재와 상기 홀딩부를 접착하는, 밀봉된 접착재를 구비한다.