发明名称 有害气体之净化剂
摘要 目的:开发一种净化剂,可有效去除半导体制法排出的排气等所含三氯化硼,氯、氯化氢、溴化氢、三氟化硼、六氟化钨、四氟化矽、氟化氢、三氟化氯、氟等有害酸性气体。构成:以氢氧化锶和四氧化三纤等氧化鑯为主成份,加水等而成组成物,最好添加粘合剂等成型而得净化剂,其中氢氧化锶与氧化鑯之比例,以锶对鑯之原子比(Sr:Fe)为15:1~1:12者;对净化剂全体而言,含有60重量%以下之水者;所形成渠化剂之形状为球状时,其直径为0.5-10mm,圆柱状时直径为0.5-10mm、长度为2-20mm,不定形状时其筛孔为0.84-5.66mm。
申请公布号 TW265270 申请公布日期 1995.12.11
申请号 TW083112411 申请日期 1994.12.28
申请人 派欧尼股份有限公司 发明人 大塚健二;北原宏一;福田秀树;蝬山俊哉
分类号 B01D20/00 主分类号 B01D20/00
代理机构 代理人 何金涂 台北巿大安区敦化南路二段七十七号八楼
主权项 1. 一种有害气体净化剂,系从含酸性气体有害气体去除该酸性气体之净化剂,其特征为,由氢氧化锶和氧化铁为主成份的组成物成型而得者,其中氢氧化锶与氧化铁之比例,以锶对铁之原子比(Sr:Fe)为15:1-1:12者;对净化剂全体而言,含有60重量%以下之水者;所形成净化剂之形状为球状时,其直径为0.5-10mm,圆柱状时直径为0.5-10mm、长度为2-20mm,不定形状时其筛孔为0.84-5.66mm。2. 如申请专利范围第1项之净化剂,其中氧化铁系选自四氧化三铁、氧化铁(Ⅱ)、氢氧化铁(Ⅲ)、氧化铁(Ⅲ)和氢氧化铁(Ⅲ)之一种或二种以上者。3. 如申请专利范围第2项之净化剂,其中氧化铁中之四氧化三铁含量在60重量%以上者。4. 如申请专利范围第1项之净化剂,其中在成型之际,添加粘合剂,选自氢氧化纳、氢氧化钾、矽酸钠、聚乙烯醇、聚乙二醇、聚丙二醇和甲基纤维素之一种或二种以上者。5. 如申请专利范围第4项之净化剂,其中粘合剂之添加量为每100重量份组成物之0.1至20重量份者。6. 如申请专利范围第1项之净化剂,其中酸性气体系三氯化硼、氯、氯化氢、溴化氢、三氟化硼、六氟化钨、四氟化矽、氟化氢、三氟化氯或氟之一种或二种以上者。7. 如申请专利范围第1项之净化剂,其中有害气体系半导
地址 日本