Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung.,申请号DE1990623685-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung.
摘要
申请公布号	DE69023685(D1)	申请公布日期	1996.01.04
申请号	DE1990623685	申请日期	1990.04.05
申请人	KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP	发明人	OGINO, MASANOBU, C/O INTELLECTUAL PROPERTYDIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP
分类号	H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;H01L23/532;H01L29/08;H01L29/417;(IPC1-7):H01L21/304;H01L21/60	主分类号	H01L21/28
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