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发明名称 DISK SEARCH CIRCUIT OF WAFER TRANSFER SYSTEM
摘要
申请公布号 KR960001467(Y1) 申请公布日期 1996.02.17
申请号 KR19920020685U 申请日期 1992.10.26
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO., LTD. 发明人 LEE, KWANG - JOON;CHO, DAE - BOK;CHOE, JONG - NAM;YEU, TAE - HYUN
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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