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<p>Zur Erhöhung der Leitfähigkeit von Gassensoren zur Detektion reduzierender Gase wird auf ein Substrat (S) eine Ga2O3-Schicht (A) als gassensitive Schicht aufgebracht und bei einer Temperatur von 750 °C bis 850 °C getempert, so daß die Ga2O3-Schicht akzeptorfrei ist.</p> |
