发明名称 METHOD OF MANUFACTURING TARGET FOR VACUUM SPRAYING
摘要
申请公布号 RU1494559(C) 申请公布日期 1996.03.10
申请号 SU19864070010 申请日期 1986.05.28
申请人 YAROSLAVSKOE NAUCHNO-PROIZVODSTVENNOE OB"EDINENIE ELEKTRONPRIBOR" 发明人 BERDNIKOV A.E.;KAZAKOV G.V.;KUFIRIN A.B.;KUDRYASHOV O.A.
分类号 C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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