发明名称 HOLDER DRIVING DEVICE OF WAFER TRANSFER
摘要
申请公布号 KR960003371(Y1) 申请公布日期 1996.04.20
申请号 KR19890019406U 申请日期 1989.12.21
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO., LTD. 发明人 AHN, MAN - HO;RYU, DO - HYUN
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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