发明名称 |
DEVICE FOR ANALYZING FAULT OF INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH08136624(A) |
申请公布日期 |
1996.05.31 |
申请号 |
JP19940301630 |
申请日期 |
1994.11.11 |
申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
KURODA HIDEHIKO;NAKAMURA TOYOICHI |
分类号 |
G01R31/26;G01R31/28;G01R31/302;G06F11/22;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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