| 摘要 |
<p>Vorgeschlagen wird ein Sensor zum Nachweis von brennbaren Gasen in einem Prüfgas. Er besteht in Kern aus einer auf einem keramischen Substrat aufgebrachten sensitiven Schicht auf der Basis eines halbleitenden Metalloxids, deren elektrischer Widerstand eine Aussage über die Konzentration brennbarer Gase in einem Prüfgas liefert. Die hierfür vorgeschlagene sensitive Schicht (3) weist einen Verbund (12) von zusammengesinterten Körnern (15) des halbleitenden Metalloxids auf, dessen Oberfläche mit Gold und/oder einer Goldlegierung beschichtet ist. Bei dem halbleitenden Metalloxid handelt es sich um Zinnoxid (SnO2), Indiumoxid (In2O3), Titanoxid (TiO2) oder ein anderes n-halbleitendes Metalloxid bzw. Metallmischoxid, die Goldlegierung besteht beispielsweise aus 66 Mol % Gold und 33 Mol % Palladium (Pd).</p> |
