| 摘要 |
이 엔드 이펙터(5)는, 각각 독립적으로 구동 가능한 제1 핸드(8) 및 제2 핸드(9)를 구비한다. 제1 핸드(8)는, 기판 수용부에 수용된 상하로 인접하는 기판들의 사이에 삽입 가능한 핸드 본체(10)를 가지고, 핸드 본체(10)의 직상 또는 직하의 기판(S)을 유지한다. 제2 핸드(9)는, 기판 수용부에 수용된 복수의 기판(S) 중 최하단의 기판(S)의 하방 또는 최상단의 기판(S)의 상방에 적어도 일부가 진입하는 핸드 기부(11)와, 핸드 기부(11)에 설치되고, 최하단 또는 최상단의 기판(S)을 포함하는 2장 이상의 기판(S)을 유지하는 기판 유지 수단(12)을 가진다. 이 엔드 이펙터(5)에 의하면, 기판 수용부측의 사정에 의해 배치 반송식 핸드의 사용에 제약이 있는 경우에도, 기판 반송을 지장없이 행할 수 있다. |
