控制器

摘要

控制器，系由向上面开口之阀箱，具有设在阀箱上且固定在阀箱之固定部和由驱动用气体之流出流入所上下动的作动部之气体驱动型致动器，自阀箱内向阀箱上面延伸且上端部系固定在致动器的作动部之阀棒，以及设在阀棒下端之阀体所构成。阀棒和致动器的固定部之间架设固定有阀箱内流体密封用波纹管，致动器的固定部和其作动部之间则架设固定有致动器内气体密封用波纹管。由阀棒、阀箱内流体密封用波纹管、致动器的固定部、致动器内气体密封用波纹管，及致动器的作动部所形成之密闭空间，系呈真空。因此，周围温度变化所引起密闭室间内之压力变动，比驱动气体之压力极为小，故流体之流量不至于因周围之温度变动而变化。

主权项

1. 一种控制器,系由:向上面开口之阀箱,具有设在阀箱上且固定在阀箱之固定部及藉驱动用气体之流出入所上下动之作动部之驱动型致动器,自阀箱内向阀箱上面延伸且上端部系固定在致动器的作动部之阀棒,以及设在阀棒上端之阀体所构成,而在阀棒和致动器的固定部之间架设固定有阀箱内流体密封用波纹管,致动器的固定部和其作动部之间分架设固定有致动器内气体密封用波纹管,而以阀棒、阀箱内流体密封用波纹管、致动器之固定部、致动器内气体密封用波纹管,以及致动器的作动部形成密闭空间,其特征为密闭空间为真空者。2. 如申请专利范围第1项之控制器,其中阀箱内流体密封用波纹管及致动器内气体密封用波纹管,系藉电子束熔接分别接合于阀棒和致动器的固定部及致动器的固定部和致动器的作动部。图示简单说明: