| 摘要 |
물리적 기상 증착용 챔버(200; 300; 400; 500; 600; 700; 900; 1000)가 제공된다. 챔버는 하우징(210; 310; 410; 510; 610; 710; 910; 1010), 하우징을 개방 및 폐쇄하기 위한 도어(220; 320; 420; 520; 620; 720; 920; 1020; 1100; 1220); 및 타겟(230)을 수용하기 위한 베어링(240; 340; 440; 540; 640; 740; 1140; 1240)을 포함하고, 베어링은 제 1 방향(260)으로 지향된다. 추가적으로, 챔버는 타겟이 제 1 방향으로 챔버로부터 적어도 부분적으로 제거가능하도록 적응된다. 실시예에 따르면, 물리적 기상 증착용 챔버(200; 300; 400; 500; 600; 700; 900; 1000)가 제공된다. 챔버는 적어도 하나의 타겟(230) 및 기판을 수용하도록 적응된다. 챔버는 하우징; 도어; 및 타겟을 장착하기 위한 적어도 하나의 베어링을 포함하고, 베어링은 도어에 부착된다. |
