Method of forming patterns

摘要

식각 대상층 및 하부층(under layer) 상에 필라(pillar)들 배열 및 제1오프닝부(opening portion)들을 제공하는 템플레이트(template)부를 형성하고, 측벽들을 덮는 격벽 부분들을 제공하는 격벽층을 형성한 후, 블록코폴리머층을 도입하고 어닐링(annealing)하여 제1도메인부들 및 제2도메인부와 제3도메인부들을 에워싸는 제4도메인부들의 형성을 유도한다. 제1도메인부들 및 제3도메인부들을 선택적으로 제거하여 제2오프닝부들 및 제3오프닝부들을 유도하고, 필라들을 선택적으로 제거하여 제4오프닝부들을 유도한 후, 제2 및 제4오프닝부들이 연장된 제5오프닝부들 및 제3오프닝부들이 연장된 제6오프닝부들이 하부층을 관통하도록 유도한다. 제5오프닝부들 중 일부를 막아 차폐(sealing)하는 차폐 패턴을 형성하고, 제5오프닝부들이 연장된 제7오프닝부들 및 제6오프닝부들이 연장된 제8오프닝부들이 식각 대상층을 관통하도록 유도하는 패턴 형성 방법을 제시한다.