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发明名称 PHOTOENHENCED DIFFUSION PATTERN FOR ORGANIC POLYMER FILMS
摘要
申请公布号 KR960016320(B1) 申请公布日期 1996.12.09
申请号 KR19930007720 申请日期 1993.05.06
申请人 E.I. DU POND DE NEMOURS AND COMPANY 发明人 NEBE, WILLIAM JOHN;HOLZAPFEL, JOHN KIRK
分类号 G03F7/26;G03F1/00;G03F7/004;H01L21/027;H01L21/22;H01L21/30;H05K1/03;H05K1/09;H05K1/16;H05K3/02;H05K3/10;H05K3/46;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
主权项
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