薄板状工件的制造方法以及双头平面磨削装置

摘要

本发明提供一种薄板状工件的制造方法和双头平面磨削装置，根据本发明，不论作业员的熟练度高低，都能可靠地进行为了高精度地磨削薄板状工件而所需的预先调整。该制造方法具备：使用双头平面磨削装置，边使在一对静压垫之间被静压支承着的薄板状的工件旋转，边利用一对磨削磨具来磨削工件的两面的磨削步骤；在进行磨削步骤之前对双头平面磨削装置进行调整的预先调整步骤。在预先调整步骤中，在第一状态(边对调整用工件进行静压支承，边利用磨削磨具夹持调整用工件)、第二状态(不对调整用工件进行静压支承，只利用磨削磨具来夹持调整用工件)下取得调整用工件与静压垫之间的距离，并根据在这两状态下的距离之间的变化来调整双头平面磨削装置。

主权项

一种薄板状工件的制造方法，其具备磨削步骤和预先调整步骤，该磨削步骤是使用具有一对静压垫和一对磨削磨具的双头平面磨削装置，一边使在所述一对静压垫之间被静压支承着的薄板状的工件旋转，一边利用所述一对磨削磨具来磨削所述工件的两面的步骤，该预先调整步骤是在进行所述磨削步骤之前对所述双头平面磨削装置进行调整的步骤，所述薄板状工件的制造方法的特征在于：在所述预先调整步骤中，在第一状态和第二状态下取得与调整用工件的形态相关的规定值，并根据在该第一状态和该第二状态下的所述规定值之间的变化来调整所述双头平面磨削装置，其中该第一状态是一边在所述一对静压垫之间对所述调整用工件进行静压支承，一边利用所述一对磨削磨具夹持所述调整用工件的状态，该第二状态是不利用所述静压垫来对所述调整用工件进行静压支承，只利用所述一对磨削磨具来夹持所述调整用工件的状态。