| 主权项 |
1.一种石英炉管之乾式清洗装置,安装在一晶舟承载器上,用以清洗附着一石英炉管内壁上的氧化层及杂质;该乾式清洗装置包括:一圆柱形外壳,具有一端面;复数个超音波产生器,配置于该圆柱形外壳之圆周面与该端面上,用以产生一超音波,以震碎附着在该石英炉管内壁上之氧化层及杂质;一控制器,包括一电池组,为一约与该圆柱形外壳同直径的圆柱体,该控制器与该些超音波产生器藕接,用以控制该些超音波产生器之功率及频率;以及一圆柱形静电集尘装置,固定在该圆柱形外壳的圆周下表面上与该控制器的圆周上表面上,藕接至该电池组,其中该电池组系用以提供该些超音波产生器及该静电集尘装置所需之电能。2.如申请专利范围第1项所述之乾式清洗装置,其中,该些超音波产生器的数目是11个,其中6个均匀配置于该圆柱形外壳之圆周面上,另5个均匀配置于该圆柱形外壳之端面上。3.如申请专利范围第1项所述之乾式清洗装置,其中,该静电集尘装置包括2片圆弧状之静电集尘板。4.如申请专利范围第1项所述之乾式清洗装置,其中,该乾式清洗装置系藉由该晶舟承载器进出该石英炉管。图示简单说明:第1图绘示的是一种习知的石英炉管清洗保养流程图;第2图绘示的是应用本创作之一较佳实施例,一种石英炉管之乾式清洗装置;第3图绘示的是对应于第2图之较佳实施例中超音波产生器21的立体示意图;第4图绘示的是对应于第2图之较佳实施例中静电集尘板22的立体示意图;以及第5A-5C图绘示的是对应于第2图之较佳实施例,清除石英 |
