| 发明名称 |
HARD BAKE APPARATUS OF PHOTORESIST USING NITROGEN PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR970003592(Y1) |
申请公布日期 |
1997.04.18 |
| 申请号 |
KR19940006935U |
申请日期 |
1994.04.01 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRONICS IND.CO.,LTD. |
发明人 |
PARK, DAE-ILL |
| 分类号 |
H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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