发明名称 VOID-ARRANGED STRUCTURE AND MEASUREMENT METHOD USING SAME
摘要 본 발명은 피측정물이 유지된 틈 배치 구조체에 전자파를 조사하여, 상기 틈 배치 구조체에서 산란되는 전자파의 주파수 특성을 검출함으로써 상기 피측정물의 특성을 측정하는 방법에 이용되는 틈 배치 구조체이며, 상기 틈 배치 구조체는 제1 주면과, 상기 제1 주면에 대향하는 제2 주면 및, 상기 제1 주면 및 제2 주면에 수직한 방향으로 관통한 복수의 틈부를 가지고, 상기 제1 주면에서의 상기 틈부의 개공 면적이, 상기 제2 주면에서의 틈부의 개공 면적보다도 작은 것을 특징으로 하는 틈 배치 구조체이다.
申请公布号 KR101672980(B1) 申请公布日期 2016.11.04
申请号 KR20157001439 申请日期 2013.07.03
申请人 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 发明人 콘도 타카시;캄바 세이지;오가와 유이치
分类号 G01N21/3586;G01N21/01 主分类号 G01N21/3586
代理机构 代理人
主权项
地址