步阶机水平校准方法

摘要

本发明系关于一种步阶机水平校准方法，其主要以步阶机(STEPPER)于一晶圆之不同位置处分别转移一图形区，每一图形区上包括有若干组校准图形，每组校准图形系由若干检验图案呈条状排列组成，各检验图案上分具有线宽指数，又利用显微镜观察各检验图案之指数解析度，以确认晶圆在该位置之精确焦距，藉此方式取得晶圆各观察位置之倾斜平面，以校准步阶机之水平状态。

主权项

1. 一种步阶机水平校准方法,其主要系以步阶机于晶圆上各特定位置分别形成若干检验图形,该检验图形上包括若干检验图案及对应之焦距指数,检验图案上分设有若干线宽指数;其利用线宽指数解析度之判断,配合对应之焦距指数,可找出晶圆各处之倾斜平面,进而供步阶机校准水平之用。2. 如申请专利范围第1项所述之步阶机水平校准方法,该检验图形可以若干组构成一图形区分布于晶圆上。3. 如申请专利范围第1项所述之步阶机水平校准方法,该检验图案之每一线宽指数上分设有直线、横线、点或曲线等图案。4. 如申请专利范围第1或3项所述之步阶机水平校准方法,该检验图案上分设有正常图形及反相图形。图示简单说明:第一图:系本发明于晶圆上形成检验图形之分布图。