发明名称 解离水槽车
摘要 一种载有解离水作为晶片运送的水槽车装置,解离水槽车包括一车体,一无盖容器,至少一手把,至少一解离水注入口,以及一升降控制装置。利用水槽车载运经化学机械研磨后的晶片,以方便运送至清洗机清洗。可防止晶片上的研浆滴落造成洁净室的污染。
申请公布号 TW309919 申请公布日期 1997.07.01
申请号 TW085214699 申请日期 1996.09.23
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 吴俊元;林沧荣;邱云榜;锺渊山
分类号 B65G69/00 主分类号 B65G69/00
代理机构 代理人 詹铭文 台北巿罗斯福路二段一○○号七楼之一
主权项 1.一种载有解离水作为晶片运送的水槽车,该解离水槽车包括:一车体,其外观视作业需求而自行设计;一无盖容器,放置在该车体内,该无盖容内放置有一网状支撑板,以上下活动,且该网状支撑板上放置有复数个晶舟,为放置载运晶片的空间;至少一手把,连接在该车体上,以方便控制该车体的操作;至少一解离水注入口,连接于该无盖容器的上方,藉由外接一管子以直接将解离水引入该无盖容器内;以及一升降控制装置,与该车体相连结,以带动该网状支撑板的上下升降。2.如申请专利范围第1项所述之解离水槽车,其中该无盖容器更包括一第二排水口,以方便置换该无盖容器内之解离水时,将解离水排出。3.如申请专利范围第1项所述之解离水槽车,其中该无盖容器的一顶端周缘形成内凹的设计,以防止解离水溢出。4.如申请专利范围第1项所述之解离水槽车,其中该网状支撑板为具有复数个孔洞的板子,该孔洞可让解离水流过,具有沥乾解离水的效果。5.如申请专利范围第1项所述之解离水槽车,其中该车体更包括:一顶盖,以防止该水槽车运动时因晃动太巨烈造成的解离水泼出;复数个轮子,以顺着该车体的运动方向行进;以及一隔板,将该车体区隔成两个部份,一集水区与一溢流区。6.如申请专利范围第5项所述之解离水槽车,其中该隔板中心挖有一汲水孔且该隔板的设计应略为向内倾斜,形成外高内低的情况,如此才能把溢出的解离水经由该汲水孔顺利地导入该集水区内。7.如申请专利范围第5项所述之解离水槽车,其中该溢流区内放置有该无盖容器。8.如申请专利范围第5项所述之解离水槽车,其中该集水区内放置有该升降控制。9.如申请专利范围第5项所述之解离水槽车,其中该集水区用以存放溢流出的解离水,待储存一定的水量后,便藉由一第一排水口排出。10.如申请专利范围第1项所述之解离水槽车,其中该升降控制装置更包括一齿轮箱及一支撑架。11.如申请专利范围第10项所述之解离水槽车,其中该齿轮箱藉由穿过该汲水孔的该支撑架与该无盖容器内的该网状支撑板藕接,利用该升降控制装置的作动使该网状支撑板能上下活动。12.如申请专利范围第11项所述之解离水槽车,其中该支撑架为使用防腐蚀及防漏之伸缩囊制成。图示简单说明:第一图绘示的是本创作之一较佳实施例,一种解离水槽车的上视图;以及第二图绘示的是第一图中之解离水槽车的侧面示意图。
地址 新竹科学工业园区工业东三路三号