半导体元件及其不良品监别法

摘要

一作业检查电路单元设置在半导体元件之IC单元的输入-输出端单元。并形成一热感应树脂层作为作业检查电路单元之顶层。对于在作业检查电路单元中各IC单元的输入-输出端，采用一电晶体作为热产生元件。如果所检测到之作业检查结果为异常，则会有一非常大地电流流过连接到有问题的输入-输出端之电晶体，造成热散逸。该热依次改变在最上面的热感应树脂层之区域的颜色，该区域对应于有问题的输入-输出端。以这种方式，热感应树脂层可以藉由一相当小的热散逸而灵敏地改变其颜色，而且此颜色之变化出现在半导体元件之表面。利用目视认出颜色之变化，就可监别出半导体元件之不良品。结果，藉由一小量电流流过电晶体而改变其颜色，且其顶部改变颜色之时间较短。以这种方式，本发明提供一半导体元件，可以快速而容易地监别不良品，但不会对产品之良率有不良的影响，以及提供半导体不良品之监别法。

主权项

1.一种半导体元件,包含:一具有原始电路功能之一半导体积体电路单元;一检查该半导体积体电路单元作业之作业检查电路单元,该作业检查电路单元设置在该半导体积体电路单元之输入-输出端单元上;以及一在该作业检查电路单元周围而成之热感应层,其中,该热感应层之颜色由该作业检查电路单元所产生之热改变。2.如申请专利范围第1项之半导体元件,其中该作业检查电路单元包括一热产生元件,个别地提供给该半导体积体电路单元之输入-输出端单元的各端,而且该热感应层上一对应区域由于该热产生元件所产生之热而改变其颜色。3.如申请专利范围第2项之半导体元件,其中该热产生元件为一电晶体。4.如申请专利范围第1项之半导体元件,其中该热热感应系置于该作业检查电路单元之顶层。5.一种在制造半导体元件单元之步骤中监别半导体元件不良品之方法,该半导体元件单元含有:一具有原始电路功能之一半导体积体电路单元;一设置在该半导体积体电路单元之输入-输出端单元之作业检查电路单元,用以检查该半导体积体电路单元之作业;以及一在该半导体积体电路单元周围而成之热感应层,以及该方法之特征包括步骤如下:检查该半导体积体电路单元之作业;依照该检查半导体积体电路单元作业之步骤的输出结果,令该作业检查电路单元产生热,并使该产生之热改变该热感应层之颜色;以及根据该热感应层之颜色是否改变而监别不良品。6.如申请专利范围第5项之监别半导体元件不良品之方法,其中一热产生元件个别地包含在该半导体积体电路单元之该输入-输出端单元的各输入-输出端之前该作业检查电路单元内,并由于该热产生元件所产生之热改变该热感应层上之一对应区域的颜色。7.如申请专利范围第6项之监别半导体元件不良品之方法,其中该个别设置之热产生元件根据失效式样选择产生一种特定图型之热,而一具有已改变颜色之该特定图型之区域则在热感应层上形成。8.一种监别半导体元件不良品之方法,其中如申请专利范围第5项所述之步骤对在半导体晶圆上制成之各半导体元件予以实施,以形式不预定阵列,而保持该半导体晶圆之状态。9.一种监别半导体元件不良品之方法,其中如申请专利范围第5项所述之步骤对一从半导体晶圆切下之一半导体元件单元予以实施。图示简单说明:图一为根据本发明之实现半导体元件实例的概念性横截面组态之横截面图。以及图二为一电路方块图,显示图一半导体元件之概念性的平面组态。