发明名称 薄板收纳容器
摘要 本发明之课题,系做最适当的内压调整,同时容易再使用及再生处理。一种载运箱,该载运箱具备容器本体13:将多数半导体晶圆12收纳支持于内部;盖体14:在将半导体晶圆12收纳于容器本体13内的状态盖上而将内部保持于清洁状态;及,垫圈;安装于容器本体13和盖体14之间。容器本体13等设置开口26,此开口26上可装卸地装着过滤器27。过滤器27在载运箱11内外一面除去尘埃等,一面容许气体通过而调整内压。以开口26和过滤器27构成内压调整机构25。此外,垫圈36也可以具备以下功能:容许气体通过而使内外气压一致,同时限制尘埃等通过。
申请公布号 TW312035 申请公布日期 1997.08.01
申请号 TW085114056 申请日期 1996.11.16
申请人 住友希吉克斯股份有限公司;柿崎制作所股份有限公司 发明人 江岛和年;兵部行远
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人 赖经臣 台北巿南京东路三段三四六号白宫企业大楼一一一二室
主权项 1.一种薄板收纳容器,系指具备容器本体:将多数薄板收纳支持于内部;及,盖体:在将薄板收纳于此容器本体内的状态盖上而将内部保持于清洁状态之薄板收纳容器,其特征在于:具备内压调整机构,该内压调整机构系由开口:设于前述容器本体或盖体或者这些境界,连通内外侧而容许气体出入,调整内部气压;及,过滤器:可装卸地装在此开口上,除去尘埃等而容许气体容易通过构成者。2.如申请专利范围第1项之薄板收纳容器,其中前述过滤器系由筒体:与前述开口嵌合;凸缘部:设于此筒体一方,在筒体与前述开口嵌合的状态,气密地触接于开口缘部一侧面;接合爪:设于前述筒体他方,在筒体与前述开口嵌合的状态,和前述凸缘部互相结合,从两侧夹持开口缘部而将筒体固定支持于开口;及,滤材:装在前述筒体内,除去尘埃等而容许气体容易通过构成。3.一种薄板收纳容器,系指具备容器本体:将多数薄板收纳支持于内部;盖体:在将薄板收纳于此容器本体内的状态盖上而将内部保持于清洁状态;及,垫圈:安装于前述容器本体和盖体之间之薄板收纳容器,其特征在于:前述垫圈具备以下功能:在内外侧间容许气体通过而使内部气压和外部电压一致,同时限制尘埃等通过者。图示简单说明:图一为显示关于第一实施形态之载运箱全体结构的分解透视图。图二为显示关于本发明之过滤器的透视图。图三为显示图二之过滤器的侧面截面图。图四为显示形成于图一之容器本体侧面壁之开口的正面图。图五为显示关于第二实施形态之载运箱全体结构的分解透视图。图六为显示关于对第一实施形态之变形例之过滤器的透视图。图七为图六之过滤器的侧面截面图。图八为显示图六之过滤器嵌口的容器本体侧面壁之开口的正面图。图九为显示对于第一实施形态之第二变形例的概略正面图。图十为显示对于第二实施形态之变形例的透视图。图十一为显示习知薄板收纳容器的透视图。图十二为图十一之薄板收纳容器的正面截面图。
地址 日本