| 发明名称 |
TIME DIFFERENTIAL RETICLE INSPECTION |
| 摘要 |
시간 차 레티클 검사를 위한 시스템 및 방법을 제공한다. 레티클의 적어도 일부의 제1 시그너처와, 제1 시그너처에 후속해서 생기는 레티클의 일부의 제2 시그너처 간의 차이를 판정하는 것에 의해 오염물을 검출한다. |
| 申请公布号 |
KR101677522(B1) |
申请公布日期 |
2016.11.18 |
| 申请号 |
KR20127010502 |
申请日期 |
2010.07.16 |
| 申请人 |
에이에스엠엘 홀딩 엔.브이. |
发明人 |
캐티 에릭;하네드 노라-진;스마레브 예브게니이;타랄드센 로버트;제이콥스 리처드 |
| 分类号 |
G03F1/82;G03F1/00;G03F1/84;G03F7/20 |
主分类号 |
G03F1/82 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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