发明名称 一具有一物件桌面及一驱动单元之定位装置,及一具有一架体之平板印刷装置
摘要 一种定位装置(21,31),具有一驱动单元(147,149,151;69,71),使一物件桌面(1,5)可在一导件(141,65)上移位,导件系固接于定位装置(21,32)之一架体(45)。定位装置(21,31)包含一力量致动系统(205),可旋加一补偿力于架体(45)上,补偿力沿架体(45)之一参考点(P)而具有一力矩,其值相等于作用在物件桌面(1,5)上且沿参考点(P)之重力力矩值,而其方向相反该重力力矩之方向。使用力量致动系统(205)可防止架体(45)在该重力架体(45)上之一点于物件桌面(1,5)移位期间相对于架体(45)移位时发生振动或弹性变形,物件桌面(1,5)利用驱动单元(147,149,151;69,71)而相对于导件(141,65)之定位准度,因而不受此振动或变形影响。定位装置(21,31)系用于积体半导体电路制造中所需之平板印刷装置,平板印刷装置包含一第一定位装置(21),可使一基质固定座(1)相对于一聚焦系统(3)移位,以及一第二定位装置(31),可使一掩色片固定座(5)相对于聚焦系统(3)移位。本发明之平板印刷装置实例包含一用于第一、二定位装置(21,31)之结合力量致动系统(205),藉此系统则基质固定座(1)及掩色片固定座(5)之重心移位即可补偿。力量致动系统包含三个力量致动件(205),系一体于三个动态隔离件(51),以利平板印刷装置之架体(45)靠置于一底座(39)上。
申请公布号 TW316874 申请公布日期 1997.10.01
申请号 TW085102505 申请日期 1996.03.01
申请人 ASM石版印刷公司;飞利浦电子股份有限公司 发明人 安德瑞那斯.凡.德.鲍尔;约翰尼斯.马斯杰斯.马利.凡.金曼迪;健.凡.艾杰克
分类号 B41F27/00 主分类号 B41F27/00
代理机构 代理人 陈长文 台北巿敦化北路二○一号七楼
主权项 1.一种具有一物件桌面及一驱动单元之定位装置,物件桌面可在一导件上移动且至少平行于X方向,导件系固接于定位装置之一架体,其特征在定位装置备有一力量致动系统,系由一电子控制器控制且在操作期间施加一补偿力于架体上,补偿力沿架体之一参考点而具有一机械力矩,其値系相等于一重力沿该参考点作用于物件桌面上之机械力矩値,且其方向相反于该重力机械力矩之方向。2.根据申请专利范围第1项之定位装置,其特征在物件桌面系可移位平行于一水平方向,而力量致动系统施加补偿力于架体上且平行于一垂直方向。3.根据申请专利范围第2项之定位装置,其特征在物件桌面系可移位平行于一水平X方向及一垂直于X方向之水平Y方向,而力量致动系统包含三个力量致动件,系互呈三角形配置且各施加一补偿力于架体并平行于垂直方向。4.根据申请专利范围第1项之定位装置,其特征在力量致动系统系一体于一动态隔离件系统,藉此系统使架体联结于定位装置之底部。5.根据申请专利范围第1项之定位装置,其特征在补偿力仅包含力量致动系统之一磁铁系统及一电线圈系统之一罗仑兹力。6.一种平板印刷装置,其具有一架体,系平行于一垂直之Z方向,且依序支予承一发光源、一掩色片固定座、一聚焦系统且其主轴线平行于Z方向,以及一基质固定座且其可利用一定位装置而移位垂直于Z方向,其特征在基质固定座之定位装置系申请专利范围第1.2.3.4或5项之定位装置,其中基质固定座之定位装置架体属于平板印刷装置之架体,而基质固定座之定位装置之力量致动系统施加补偿力于架体上。7.一种平板印刷装置,其具有一架体,系平行于一垂直之Z方向,且依序支承一发光源、一掩色片固定座且其利用一定位装置而移位垂直于Z方向、一聚焦系统且其主轴线平行于Z方向,以及一基质固定座且其利用另一定位装置而移位垂直于Z方向,其特征在掩色片固定座之定位装置系申请专利范围第1.2.3.4或5项之定位装置,其中基质固定之定位装置架体属于平板印刷装置之架体,而基质固定座之定位装置之力量致动系统施加补偿力于架体上。8.一种平板印刷装置,其具有一架体,系平行于一垂直之Z方向,且依序支承一发光源、一掩色片固定座且其利用一定位装置而移位垂直于Z方向、一聚焦系统且其主轴线平行于Z方向,以及一基质固定座且其可利用另一定位装置而移位垂直于Z方向,其特征在掩色片固定座之定位装置系申请专利范围第1.2.3.4或5项之定位装置,且在基质固定座之另外定位装置系申请专利范围第1.2、3.4或5项之定位装置,其中掩色片固定座定位装置之架体与基质固定座定位装置架体属于石板印刷装置之架体,而掩色片固定座之定位装置之力量致动系统与基质固定座之另外定位装置之力量致动系统施加它们之补偿力于架体上。9.根据申请专利范围第8项之平板印刷装置,其特征在基质固定座及掩色片固定座之定位装置具有一结合力量致动系统,使结合力量致动系统沿参考点之补偿力机械力矩値相等于作用在基质固定座上且沿该参考点之重力机械力矩値加上作用在掩色片固定座上且沿该参考点之重力机械力矩値之总和,而补偿力之机械力矩方向系相反于该机械力矩总和之方向。10.根据申请专利范围第6项之平板印刷装置,其特征在架体系利用三个互相呈三角形配置之动态隔离件而设置于平板印刷装置之一底座上,而力量致动系统包含三个分离之力量致动件,各与对应之动态隔离件一体成型。11.根据申请专利范围第7项之平板印刷装置,其特征在架体系利三个互相呈三角形配置之动态隔离件而设置于平板印刷装置之一底座上,而力量致动系统包含三个分离之力量致动件,各与对应之动态隔离件一体成型。12.根据申请专利范围第8项之平板印刷装置,其特征在架体系利三个互相呈三角形配置之动态隔离件而设置于平板印刷装置之一底座上,而力量致动系统包含三个分离之力量致动件,各与对应之动态隔离件一体成型。13.根据申请专利范围第9项之平板印刷装置,其特征在架体系利三个互相呈三角形配置之动态隔离件而设置于平板印刷装置之一底座上,而力量致动系统包含三个分离之力量致动件,各与对应之动态隔离件一体成型。图示简单说明:图一揭示本发明之平板印刷装置,图二系图一平板印刷装置之示意图,图三揭示图一平板印刷装置之底座及基质固定座,图四系图三平板印刷装置之底座及基质固定座平面图,图五系图一平板印刷装置之掩色片固定座平面图,图六系沿图五之VI-VI线所取之截面图,图七系图一平板印刷装置之动态隔离件截面图,图八系沿图七之VIII-VIII线所取之截面图,及图九简示图一之平板印刷装置之力量致动系统。
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