发明名称 VORRICHTUNG ZUR BELACKUNG VON SUBSTRATEN IN DER HALBLEITERFERTIGUNG
摘要
申请公布号 AT163501(T) 申请公布日期 1998.03.15
申请号 AT19930918919T 申请日期 1993.08.26
申请人 STEAG MICROTECH GMBH 发明人 MUEHLFRIEDEL, EBERHARD;KALLIS, MARTIN;APPICH, KARL
分类号 A01B1/00;B05C9/12;B05C11/08;H01L21/00;(IPC1-7):A01B1/00 主分类号 A01B1/00
代理机构 代理人
主权项
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