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发明名称 ELEKTRONENQUELLE UND ELEKTRONENSTRAHLGERÄT
摘要
申请公布号 AT163799(T) 申请公布日期 1998.03.15
申请号 AT19940120288T 申请日期 1994.12.21
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 MITSUTAKE, HIDEAKI;NAKAMURA, NAOTO;SANO, YOSHIHISA
分类号 G06F3/147;H01J1/316;H01J29/84;H01J31/12;(IPC1-7):H01J1/30;H01J21/10;H01J3/40 主分类号 G06F3/147
代理机构 代理人
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