发明名称 METHOD FOR FORMING A CONTACT VIA
摘要
申请公布号 KR0135528(B1) 申请公布日期 1998.04.25
申请号 KR19890004586 申请日期 1989.04.06
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS INC. 发明人 FU-TAI, LIOU;MILLER, ROBERT O.;FAROHANI, MOHAMMED M.;HAN, YU-PIN
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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