发明名称
摘要
申请公布号 JP2760068(B2) 申请公布日期 1998.05.28
申请号 JP19890185759 申请日期 1989.07.18
申请人 SONII KK 发明人 ITO SHINICHI;HOSHI NAOYA;OKAMOTO YUTAKA
分类号 H01L21/225;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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