发明名称 检查碟片之装置及方法
摘要 用以检查碟片之功能装置依其执行操作之顺序,安排于转盘周围,在角度2nπ/(n+m)之相等间隔处。转盘前向转动一角度2nπ/(n+m),及反向转动一角度2mπ/(n+m),俾当所需之操作已完成时,前向转动之总角度等于反向转动之总角度,而不使转盘一次全转。
申请公布号 TW338152 申请公布日期 1998.08.11
申请号 TW086112950 申请日期 1997.09.08
申请人 日立电子工程股份有限公司 发明人 中台勉;石绵修
分类号 G11B17/00 主分类号 G11B17/00
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种碟片检查装置,包含一圆形转盘,多个心轴用以装上欲检查之碟片,碟片以特定角度之相等间隔安排于转盘上,及功能装置,此等设置于转盘周围,与心轴相对应,俾对心轴上所装之碟片执行特定之操作,转盘转动,同时功能装置对碟片依次执行特定之操作,从而连续检验碟片,其中:心轴为n+m之数,并设置于由等分转盘为在角度2/(n+m)(其中n及m各为2或更大之整数;n+m为5或更大;当n≠m及n+m为偶数时,n为奇数)上相等部份所决定之对应角度位置上;功能装置至少为五之数,并依次与心轴对应配置,依特定之方向及欲对碟片执行功能操作之顺序,设置于转盘周围相等角度2n/(n+m)之间隔处,配置于第一位置处之功能装置为用以装放碟片于一特定心轴上之机构,及配置于最后位置处之功能装置为用以卸下特定心轴上之碟片,并退出该碟片至装置外部之机构;及该装置另包含一转盘转动控制器,此控制转盘在前向转动一角度2n/(n+m),或在反向上转动一角度2m/(n+m),俾由碟片装上机构装于心轴上之碟片置于次一功能装置处,及已由最后碟片退出机构卸下碟片之心轴置于碟片装上机构处,转盘前向转动通过之角度之和等于反向转动之总角度,唯转盘并不一次全转。2.如申请专利范围第1项所述之碟片检查装置,其中,用以检查装于特定心轴上之碟片之顶表面上有无任何缺陷之一第二表面检查器,用以卸下,反转,及再装上一特定心轴上所装之碟片于该心轴上之一碟片反转机构,及用以检查装于一特定心轴上之碟片之底面上有否缺陷之一第二表面检查器设于碟片装上机构及碟片退出机构之间,作为功能装置,且其中,碟片反转机构在该特定方向之循环中对应于在第一表面检查器之下游处之心轴之位置,第二表面检查器在该特定方向之循环中对应于在碟片反转机构之下游处之心轴之位置,及在各功能装置已完成所有其操作后,由转盘转动控制器执行前向或反向转动。3.如申请专利范围第2项所述之碟片检查装置,其中第一表面检查器,碟片反转机构,及第二表面检查器依该顺序设置于碟片装上机构及碟片退出机构之间,作为功能装置,与在特定方向中循环之所属心轴之位置相对应,且其中,在转盘前向或反向转动后,碟片装上机构装放碟片于与该机构对应之心轴上,及碟片退出机构退出碟片至该装置外。4.如申请专利范围第3项所述之碟片检查装置,其中,n为2及m为3。5.如申请专利范围第2项所述之碟片检查装置,其中,用以压光装于一特定心轴上之碟片之顶表面之一第一压光器,第一表面检查器,碟片反转机构,用以压光装于一特定心轴上之碟片之底面之一第二压光器,及第二表面检查器依该顺序设置于碟片装上机构及碟片退出机构之间,作为功能装置,与在该特定方向上循环中之所属心轴之位置相对应。6.如申请专利范围第5项所述之碟片检查装置,其中,n为3及m为4。7.如申请专利范围第5项所述之碟片检查装置,其中,n为2及m为5。8.如申请专利范围第2项所述之碟片检查装置,其中,用以压光装于一特定心轴上之碟片之顶表面之第一压光器,第一表面检查器,碟片反转机构,用以检查装于一特定心轴上之碟片有否刻痕之一刻痕侦测器,用以压光装于一特定心轴上之碟片之底表面之一第二压光器,及第二表面检查器依该顺序设置于碟片装上机构及碟片退出机构之间,作为功能装置,与特定方向之循环中之所属心轴之位置相对应。9.如申请专利范围第8项所述之碟片检查装置,其中,n为3及m为5。10.如申请专利范围第1项所述之碟片检查装置,其中,该碟片装上机构包含该 碟片退出机构。11.一种使用一装置来检查碟片之方法,该装置包含一圆形转盘,多个心轴用以装上欲检查之碟片,此等以特定角度之相等间隔安排于转盘上,及功能装置,此等设置于转盘周围,与心轴相对应,俾对心轴上所装之碟片执行特定之操作,转盘转动,同时功能装置对碟片依次执行特定之操作,从而连续检查碟片,其中:心轴为n+m之数,并与由等分转盘为在角度2/(n+m)(其中n及m各为2或更大之整数;n+m为5或更大;当n≠m及n+m为偶数时,n为奇数)上相等部份所决定之对应角位置对应设置;且其中,功能装置与心轴对应依次配置,依特定之方向及欲对碟片执行功能操作之顺序,设置于转盘周围相等角度2n/(n+m)之间隔处,配置于第一位置处之功能装置为用以装放碟片于一特定心轴上之机构,及配置于最后位置处之功能装置为用以卸下特定心轴上之碟片,并退回该碟片至装置外部之机构;及至少三功能装置配置于第一位置及最后位置之间;该方法包括:使碟片装上机构装放碟片于与该机构对应之心轴上;使转盘在前向上转动一角度2n/(n+m),或在反向上转动一角度2m/(n+m),俾当每一功能装置已终止其操作时,转盘前向转动已通过之角度之和等于反向转动之总角度,唯转盘并不一次全转,从而置碟片于次一功能装置相对处,及已由最后碟片退出机构卸下碟片之心轴置于碟片装上机构相对处;及由碟片退出机构自该心轴上卸下碟片,并退出碟片至装置外。12.如申请专利范围第11项所述之方法,其中,碟片装上机构依转盘之转动,连续装放碟片于与该机构对应之心轴上,及碟片退出机构依转盘转动,连续退出碟片至装置外。13.如申请专利范围第11项所述之方法,其中,用以检查装于一特定心轴上之碟片之顶表面有无任何缺陷之一第二表面检查装置,用以卸下,反转,及再装上一特定心轴上所装之碟片于该心轴上之一碟片反转机构,及用以检查装于一特定心轴上之碟片之底面有否缺陷之一第二表面检查器指定作为功能装置,设置于碟片装上机构及碟片退出机构之间,且其中,碟片反转机构对应在该特定方向之循环中在第一表面检查器下游处之心轴位置,及第二表面检查器对应在特定方向之循环中在碟片反转机构下游处之心轴位置。14.如申请专利范围第11项所述之方法,其中,该碟片装上机构包含碟片退出机构。图式简单说明:第一图显示本发明之一实施例之碟片检查装置,其中设置五功能装置于一转盘周围;第二图为第一图所示之转盘机构之侧视图;第三图为控制转盘转动之过程;第四图a-第四图f显示转盘如何转动,以完成一循环之所需功能操作;第五图a-第五图h显示本发明在转盘周围配置7个功能装置的一个实施例,其中第五图a指出配置7个功能装置之转盘,第五图b-第五图h指出7个功能装置旋转一循环的说明图;第六图a-第六图h显示本发明在转盘周围配置7个功能装置的另一个实施例,其中第六图a指出配置7个功能装置之转盘,第六图b-第六图h指出7个功能装置旋转一循环的说明图;第七图a-第七图i显示本发明在转盘周围配置8个功能装置的一个实施例,其中第七图a指出配置8个功能装置之转盘,第七图b-第七图i指出8个功能装置旋转一循环的说明图;及第八图显示先行技艺之碟片检查器。
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