测量方法及测量装置

摘要

本发明揭示一种测量方法及测量装置。在采用测量头(接触触发式测量头(70))的测量方法中,对从接触触发式测量头(70)产生接触检测信号时的测量头(70)的坐标值(P1)及速度(V1)进行检测,根据这些坐标值(P1)、速度(V1)及接触触发式测量头(70)的接触检测延迟时间(T1)(从接触至产生接触检测信号为止的时间)求得接触时的坐标值(P0)。

主权项

1.一种测量方法，其特征在于，使根据与被测物的关系发生位置检测信号的测量头与被测物体相对移动，根据来自所述测量头的位置检测信号，检测测量头与被测物的相对移动坐标值，并根据该相对移动坐标值，测量被测物的尺寸及表面状况中的至少一种，根据来自所述测量头的位置检测信号，分别检测测量头与被测物体的相对移动坐标值及测量头与被测物的相对移动速度，用根据所述检测时的相对移动速度的修正量，对所述检测时的相对移动坐标值进行修正。