Plasma enhanced chemical vapor deposition device and display apparatus using the same

摘要

본 발명의 일 실시예는 가스를 기판으로 분사하는 분사부와, 분사부로부터 분사된 가스가 통과하는 패턴이 형성된 마스크 유닛을 지지 및 승강시키는 리프트와, 마스크 유닛을 통과한 가스가 증착되는 기판을 지지 및 승강시키는 서셉터를 포함하며, 서셉터는 가스가 기판에 증착되는 증착 공정 중 마스크 유닛과 전기적으로 접촉하는 제1 접지부를 포함하는 기상 증착 장치를 개시한다.