电力喷枪和利用高频耦合的等离子体增强型涂覆

摘要

本发明提供电力喷枪和利用高频耦合的等离子体增强型涂覆。本发明涉及借助于等离子体处理来涂覆例如塑料瓶子的容器（102）的装置（100），所述装置（100）包括：至少一个高频源（109），位于待处理的容器（102）的外部的至少一个外部电极（103）以及用于将处理气体供应到容器（102）中的至少部分地导电的至少一个气体喷枪（101），其特征在于，至少一个外部电极（103）接地和/或与位于待处理的容器的外部的容器涂覆装置（100）的其他部件（诸如压力室部件或壳体部件）等电位，并且所述至少一个气体喷枪（101）能够将能够由所述高频源（109）产生的高频辐照到待处理的容器（102）的内部。

主权项

借助于等离子体处理来用于涂覆容器(102)的装置(100)，所述装置(100)包括：至少一个高频源(109)、位于待处理的所述容器(102)的外部的至少一个外部电极(103)，以及用于将处理气体供应到所述容器(102)中的至少部分地导电的至少一个未接地的气体喷枪(101)，其特征在于，所述至少一个外部电极(103)接地和/或与位于待处理的所述容器的外部的容器涂覆装置(100)的其他部件等电位，并且所述至少一个气体喷枪(101)能够将能够由所述高频源(109)产生的高频辐照到待处理的所述容器(102)的内部，并且所述气体喷枪被配置为使得处理气体的供应和高频的供应或传导在物理上分离地发生，其中，所述气体喷枪的传导所述高频的部分是导电的并且所述气体喷枪的供应所述处理气体的部分是部分地或全部地由不导电材料制成，部分地或全部地由导电材料制成，或者是由导电材料和不导电材料的组合制成。