| 摘要 |
본 발명은 잉크젯 프린터를 이용한 유기 박막트랜지스터의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 팁스-펜타센 반도체층 형성에 있어서 스플리터가 형성된 뱅크를 이용하여 퍼져나가는 잉크의모양을 제어하여 이에 따라 제조된유기 박막 트랜지스터의 모양을 제어하고, 나아가 표시소자의 해상도를 높이며, 그 외 여러 가지 전자소자의 집적도를 높일 수 있는 유기 박막트랜지스터의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 유기 박막트랜지스터의 제조방법은, 기판상에 게이트전극을 형성하는 제1 단계; 기판 전면에 게이트전극을 덮도록 게이트절연층을 형성하는 제2 단계; 게이트절연층 상에 소스전극 및 드레인전극을 형성하는 제3 단계; 및 게이트절연층 전면에 소스전극 및 드레인전극을 덮도록 팁스-펜타센(TIPS-pentacene)으로 활성층을 형성하되, 홈 또는 격벽으로 형성되되 좌측 및 우측이 각각 개방되는 오픈 뱅크 구조물 상에 낙하시키고 결정화되도록 예열하여, 활성층을 형성하는 제4 단계를 포함하며, 제4 단계에서는, 용액공정을 이용하여 활성층을 형성하되, 잉크젯법을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 한다. |
