| 主权项 |
1.一种中继装置,主要用以对处理搬出搬入被处理体用之搬运机构,及用以收容被处理体之卡匣间,进行交换被处理体,其特征为具备有:具有个别地从下面侧保持复数之被处理体用之保持部,并由保持部来保持复数之被处理体之同时,搬运于被处理体要交接于搬运机构之交接位置和卡匣之间所用之搬运机构(手段);及被配置于前述交接位置,而调整在交接位置被保持于保持部所有之被处理体周缘部之位置,以防止对于保持部之被处理体朝水平方向移位用之制动机构。2.如申请专利范围第1项所述之中继装置,其中前述保持部系以叠层状态来保持复数之被处理体,前述制动机构系由复数之杆所形成,而各杆乃朝向垂直方向伸延且可与被保持于保持部之所有之被处理体周缘部抵接。3.如申请专利范围第2项所述之中继装置,其中前述复数之杆可个别地朝水平方向移动。4.如申请专利范围第3项所述之中继装置,其中具备有,侦测在保持部上之被处理体之载置状态用的侦测机构,及个别朝水平方向移动各杆用之驱动控制机构。5.如申请专利范围第4项所述之中继装置,其中前述驱动控制机构乃依据来自侦测机构之侦测资讯来使各杆个别朝水平方向移动,以调整各杆之位置而令被保持于保持部之所有被处理体之周缘部能以各杆来加以保持。6.如申请专利范围第2项所述之中继装置,其中前述复数之杆乃被配置成不会使搬运机构和搬运手段互相产生干扰。7.如申请专利范围第2项所述之中继装置,其中前述复数之杆乃被配置成不会与搬运机构及搬运手段产生干扰。8.如申请专利范围第2项所述之中继装置,其中在前述各杆沿着其长度(长轴)方向形成有个别支撑被处理体周缘部用之复数之沟。9.如申请专利范围第1项所述之中继装置,其中前述搬运手段具有对于被保持于保持部之被处理体防止附着杂物用之盖。10.如申请专利范围第1项所述之中继装置,其中前述制动机构具备用以收容晶圆用之收容部于不会与被保持于搬运手段之保持部的被处理体产生干扰之位置。图式简单说明:第一图系概略地显示具备有关本发明之一实施例之中继装置之丛集工具之平面图。第二图系邻接于中继室所配置之密闭式卡匣之斜视图。第三图系有关本发明之一实施例之中继装置之斜视图。第四图系显示第三图之中继装置之一动作形态之斜视图。第五图系显示第三图之中继装置之一动作形态之平面图。第六图系显示第三图之中继装置之一动作形态之平面图。第七图系显示第三图之中继装置之一动作形态之平面图。第八图系显示晶圆交接位置做为基准之晶圆搬运路径的平面图。第九图系显示第三图之中继装置之第1变形例的侧面图。第十图系显示第三图之中继装置之第2变形例的主要部分斜视图。 |
