| 主权项 |
1.一种电浆处理装置,为以具备收容平行平板电极之处理容器,以及施加高周波于平行平板电极之上部电极与下部电极间,在上述电极间使处理瓦斯放电而实行处理之电浆处理装置,而为具备配置于上述电极之周围以产生电浆的电浆源,由上述电浆源供给上述电浆于上述电极间为其特征者。2.如申请专利范围第1项的电浆处理装置,其中上述电浆源为具备以环状配置于上述处理容器之周围并具有连通上述处理容器之连通部及高周波供电口的电浆容器,以及设于上述高周波供电口之周围的高周波线圈,而为将由上述高周波线圈与上述高周波供电口之诱导结合型放电在上述电浆容器内产生的电浆经由上述连通部供给于上述处理容器之上述电极间的构成者。3.如申请专利范围第1项的电浆处理装置,其中上述电浆源为具备以环状配置于上述处理容器之周围并具有连通上述处理容器之连通部及环状放电电极的电浆容器,而为将由上述电浆容器之壁面与上述环状放电电极之高周波放电在上述电浆容器内产生的电浆经由上述连通部供给于上述处理容器之上述电极间的构成者。4.如申请专利范围第1项的电浆处理装置,其中上述电浆源为具备以环状配置于上述处理容器之周围并具有连通上述处理容器之连通部与微波供电口的电浆容器,以及围绕上述微波供电口之环状导波管,而为将由传播于上述环状导波管内的微波在上述电浆容器内产生的电浆经由上述连通部供给于上述处理容器之上述电极间的构成为其特征者。5.如申请专利范围第2项至第4项中任一项的电浆处理装置,其中以胍冲状将瓦斯供给于上述电浆容器为其特征者。图式简单说明:第一图表示本发明之实施形态1的电浆处理装置的断面构成图。第二图表示实施形态1之电浆源之一部分的构成图。第三图表示实施形态1之电浆源之一部分的构成图。第四图表示本发明之实施形态2的电浆处理装置之电浆源之一部分构成图。第五图表示本发明之实施形态3的电浆处理装置之电浆源之一部分构成图。第六图表示习用之电浆处理装置的断面构成图。 |
