| 主权项 |
1.一种晶圆匣位置侦测装置,适用于将晶圆匣放置于晶圆匣暂存室中之晶圆匣置放台的既定位置上,而该晶圆匣位置侦测装置包括:一侦测杆,以可于该晶圆匣位于该既定位置的第一位置与该晶圆匣离开该既定位置的第二位置之间设置于该晶圆置放台;一杠杆,以可于第三位置与第四位置之间转动方式设置于该晶圆匣置放台,且该杠杆的一端受该侦测杆控制,当该侦测杆位于该第一位置时该杠杆位于第三位置,而当该侦测杆位于第二位置时该杠杆位于第四位置;以及一感测器,设置于该晶圆匣暂存室,用以感测该杠杆之另一端的位置。2.如申请专利范围第1项所述的晶圆匣位置侦测装置,其中该侦测杆穿过该晶圆匣置放台之穿孔,而位于该既定位置。3.如申请专利范围第2项所述的晶圆匣位置侦测装置,其中该感测器为一光学感测器。4.如申请专利范围第3项所述的晶圆匣位置侦测装置,其中该杠杆之另一端设有光反射平面,当杠杆位于第三位置时,该光反射平面与该光学感测器相对。5.如申请专利范围第4项所述的晶圆匣位置侦测装置,其中该杠杆藉由一支点设置于该晶圆匣置放台。6.如申请专利范围第5项所述的晶圆匣位置侦测装置,其中该晶圆置放台上有复数个定位块形成的定位装置,当该晶圆匣位于该第一位置时,该晶圆匣底部之H型杆与该定位装置结合。图式简单说明:第一图是晶圆处理室之立体图;第二图是习知晶圆匣位置侦测装置,其中该晶圆匣位置摆放正确;第三图是习知晶圆匣位置侦测装置,其中该晶圆匣位置摆放不正确;第四图是本创作侦测晶圆匣位置侦测装置主要部份之组位图;第五图是本创作侦测晶圆匣位置侦测装置组装后之前视图;第六图是本创作侦测晶圆匣位置侦测装置组装后之上视图;第七图是本创作侦测晶圆匣位置侦测装置组装后之斜视图;以及第八图是本创作侦测晶圆匣位置侦测装置使用时之前视图。 |
