COMPLEMENTARY TRAVELING MASKS

摘要

더 고 농도로 도핑된 영역들을 가지며 저 농도로 도핑된 표면을 갖는 작업물을 생성하기 위해 연쇄 패터닝된 이온 주입이 수행되는 솔라 셀 프로세싱 방법이 개시된다. 이 구성은 예컨대, 선택적 에미터 솔라 셀들을 위한 다양한 실시예들에서 사용될 수 있다. 추가적으로, 이 원하는 패턴을 생성하기 위해 사용될 수 있는 다양한 마스크 세트들이 또한 개시된다. 마스크 세트는 개방 부분 및 패터닝된 부분을 갖는 하나 이상의 마스크들을 포함할 수 있고, 마스크들의 개방 부분들의 합집합은 주입될 표면의 전체를 포함한다. 마스크들의 패터닝된 부분들은 고 농도로 도핑된 영역들의 원하는 패턴을 생성하기 위해 결합된다.