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申请公布号 JP2895634(B2) 申请公布日期 1999.05.24
申请号 JP19900403102 申请日期 1990.12.18
申请人 OKI DENKI KOGYO KK 发明人 SAITO TADASHI
分类号 H01L29/417;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/417
代理机构 代理人
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