发明名称 利用雷射光束制造引线框架之装置及以该装置制造引线框架之方法
摘要 一种利用雷射光束制造引线框架之装置及一种以该装置制造引线框架之方法。该装置可使用雷射光罩制造引线框架,该装置含有一个雷射光束产生器其安置在该装置顶部、一个雷射光束路径管其安置在雷射光束产生器下部、一个引线框架传输单元其安置在雷射光束路径管下部、一个控制器其连接至雷射光束产生器及引线框架传输单元、一个雷射光罩其具有预定之图案且安置于雷射光束产生器与引线框架传输单元之间、以及一个雷射光束吸收单元其安置在引线框架传输单元下部,用以支撑引线框架传输单元。又,引线框架之制造可藉由在引线框架材料上涂布能与雷射光束反应之光阻薄膜,且接着将涂布之光阻薄膜形成图案而实施。
申请公布号 TW379428 申请公布日期 2000.01.11
申请号 TW087107045 申请日期 1998.05.07
申请人 三星航空产业股份有限公司 发明人 韩圣英
分类号 H01L23/495 主分类号 H01L23/495
代理机构 代理人 陈恕琮 台北巿南京东路五段五十四号三楼
主权项 1.一种制造引线框架之装置,包含:雷射光束产生器,安置在该装置顶部;雷射光束路径管,安置在雷射光束产生器下部;引线框架传输单元,安置在雷射光束路径管下部;控制器,连接至雷射光束产生器与引线框架传输单元;雷射光罩,具有预定图案,安置于雷射光束产生器与引线框架传输单元之间;以及雷射光束吸收单元,安置在引线框架传输单元下部,用以支承引线框架传输单元。2.如申请专利范围第1项所述之制造引线框架之装置,其中雷射光束路径管含有展幅器,用以使雷射光束平行且均匀。3.如申请专利范围第1项所述之制造引线框架之装置,其中雷射光罩形成之图案对应于部分引线框架或整个引线框架。4.如申请专利范围第1项所述之制造引线框架之装置,其中雷射光罩可经由雷射光束路径中形成之雷射光罩出口予以置换。5.如申请专利范围第4项所述之制造引线框架之装置,其中经由雷射光罩出口之雷射光罩置换系受控制器所控制。6.如申请专利范围第1项所述之制造引线框架之装置,其中控制器控制由雷射光束产生器产生雷射光束之照射顺序与强度。7.如申请专利范围第1项所述之制造引线框架之装置,其中控制器控制在引线框架传输单元上之引线框架材料之位置。8.一种藉由利用雷射光束制造引线框架之装置以制造引线框架之方法,该装置包含雷射光束产生器,其安置在该装置顶部、雷射光束路径管,其安置在雷射光束产生器下部、引线框架传输单元,其安置在雷射光束路径管下部、控制器,其连接至雷射光束产生器与引线框架传输单元、雷射光罩,其具有预定图案且安置于雷射光束产生器与引线框架传输单元之间,以及雷射光束吸收单元其安置在引线框架传输单元下部,用以支承引线框架传输单元,该方法包含下列步骤:(a)将安置在引线框架传输单元上之引线框架材料传输一段等于引线框架间隔之距离;(b)经由雷射光罩之图案,将雷射光束照设至引线框架材料;以及,(c)将藉由雷射光束照射所除去之部份引线框架材料收集至雷射光束吸收单元。9.一种制造引线框架之装置,包含:雷射光束产生器,安置在该装置顶部;雷射光束路径管,安置在雷射光束产生器下部;引线框架传输单元,安置在雷射光束路径管下部;控制器,连接至雷射光束产生器与引线框架传输单元;以及雷射光束吸收单元,安置在引线框架传输单元下部,用以支承引线框架传输单元。10.如申请专利范围第9项之制造引线框架之装置,其中控制器控制由雷射光束产生器产生雷射光束之照射顺序与强度。11.申请专利范围第9项之制造引线框架之装置,其中控制器控制在引线框架传输单元上之引线框架材料之位置。12.一种藉由利用雷射光束制造引线框架之装置以制造引线框架之方法,该装置包含雷射光束产生器,其安置在该装置顶部、雷射光束路径管,其安置在雷射光束产生器下部、引线框架传输单元,其安置在雷射光束路径管下部、控制器,其连接至雷射光束产生器与引线框架传输单元、以及雷射光束吸收单元,其安置在引线框架传输单元下部,用以支承引线框架传输单元,该方法包含下列步骤;(a)在引线框架材料上涂布光阻薄膜,以阻挡雷射光束;(b)将光阻薄膜形成图案;(c)将来自雷射光束产生器之雷射光束照射至具有形成图案之引线框架材料,以除去由光阻图案所曝光之部分引线框架材料;以及,(d)将藉由雷射光束照射所除去之该部分引线框架材料收集至雷射光束吸收单元。图式简单说明:第一图显示依据本发明之一较佳实施例之利用雷射光束制造引线框架之装置;第二图系显示第一图雷射光罩图案之放大图以及经处理之引线框架材料;第三图显示一种制造引线框架之装置,其中第一图之雷射光罩安置在雷射光束照射路径管中;第四图系流程图说明使用第一图之制造引线框架之装置以制造引线框架之方法;第五图显示依据本发明之另一实施例之利用雷射光束制造引线框架之装置;以及第六图系流程说明使用第五图之制造引线框架之装置以制造引线框架之方法。
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