| 发明名称 |
Improved yield and line width performance for liquid polymers and other materials |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU5802399(A) |
申请公布日期 |
2000.04.03 |
| 申请号 |
AU19990058023 |
申请日期 |
1999.09.01 |
| 申请人 |
SILICON VALLEY GROUP INC |
发明人 |
EMIR GURER;ED C. LEE;MURTHY KRISHNA;REESE REYNOLDS;JOHN SALOIS;ROYAL CHERRY |
| 分类号 |
B05B7/08;B05C5/02;B05C11/08;G03F7/30;H01L21/027 |
主分类号 |
B05B7/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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