| 发明名称 | 检查连接球存在的方法 | ||
| 摘要 | 1.检查元件上特别是网格焊球阵列连接球存在的方法。2.1根据已知的方法,由照明(5)产生的连接球(2)的光反射(6)通过图像测定单元(15)测定。金属杂质(3)也可导致容易错误判断的光反射(11)。新方法意在避免这些错误判断。2.2图像测定单元附加地检测光源(5)侧向照明时连接球(2)的侧向阴影(7),该阴影与金属杂质(3)的阴影(12)不同。通过联合检测反射和阴影,图像测定单元检测出金属杂质(3)和与连接球的阴影同样大小的暗色杂质(4)。2.3在自动元件插装机中检查在元件上连接球的存在。 | ||
| 申请公布号 | CN1249847A | 申请公布日期 | 2000.04.05 |
| 申请号 | CN98803111.6 | 申请日期 | 1998.02.25 |
| 申请人 | 西门子公司 | 发明人 | H·H·格拉斯米勒 |
| 分类号 | H01L21/00;G01N21/88 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 马铁良;张志醒 |
| 主权项 | 1.一种检查在元件上，特别是在网格焊球阵列(1)上连接球(2)存在的方法，其中连接球(2)用从一个方向倾斜入射的光照射，其中连接球(2)的光反射通过串联成像光学装置(14)的图像测定单元(15)检测，以及其中通过倾斜入射的光在连接球(2)旁产生的阴影(7)由图像测定单元(15)测定。 | ||
| 地址 | 联邦德国慕尼黑 | ||