发明名称 MANIPULADOR DE PRUEBAS DE IC.
摘要 ESTA INVENCION SE RELACIONA CON UN MANIPULADOR DE PRUEBA DE IC CON UNA CAMARA DE TEMPERATURA CONSTANTE QUE COMPRENDE SEIS PORTADORES DE IC PLANETARIOS (71), UN MECANISMO DE MONTAJE DE LOS PORTADORES PLANETARIOS (72) Y UN MECANISMO DE ARRASTRE DE ROTACION PERMANENTE PARA ROTAR INTERMITENTEMENTE EL MECANISMO (72). CADA PORTADOR DE IC PLANETARIO TIENE CUATRO SUPERFICIES (S) DE ROTACION SIMETRICA CON RESPECTO A UN EJE (71A) DEL PLANETA, ACTUANDO LAS CUATRO SUPERFICIES (S) CONO UNAS PARTES DE SOPORTE DE IC. LOS PORTADORES DE IC PLANETARIOS ESTAN COLOCADOS EN UN SISTEMA ANULAR SOBRE EL MECANISMO DE MONTAJE DEL PORTADOR PLANETARIO (72) QUE PUEDE ROTAR ALREDEDOR DE UN EJE (72A) DE UN SOL. LOS SEIS PORTADORES DE IC DE LOS PLANETAS (71) PUEDEN DAR VUELTAS ALREDEDOR DEL EJE (72A) PARA EL SOL MIENTRAS QUE EL MECANISMO (72) DA SOLO UNA VUELTA. EL MECANISMO DE ARRASTRE DE ROTACION INTERMITENTE ROTA INTERMITENTEMENTE EL MECANISMO DE MONTAJE DE LOS PORTADORES DE PLANETAS (72) EN UN ANGULO DE 60 (GRADOS) DEFORMA QUE, CUANDO CADA PORTADOR DE IC PLANETARIO (71) DA UNA VUELTA EN DIRECCION DE LAS AGUJAS DEL RELOJ, ROTA 90 (GRADOS) SOBRE SU PROPIO EJE. CUANDO LA TRANSMISION DE ARRASTRE (73E) Y LA TRANSMISION SOLAR (73B) ROTAN, LAS TRANSMISIONES DE LOS SEIS PLANETAS (73D) DAN VUELTAS LENTAMENTE ALREDEDOR DEL EJE DEL SOL ACOMPAÑADAS POR LA ROTACION DE UNA PLACA DE ROTACION (73C) AL TIEMPO QUE ROTAN SOBRE SU PROPIO EJE EN DIRECCION DE LAS AGUJAS DEL RELOJ. DESPUES (24) DE LAS OPERACIONES INTERMITENTES, EL IC (4C) UNIDO A UNA PARTE PORTADORA DE IC (H) ES DEVUELTA A SU POSICION INICIAL. DURANTE ESTE PERIODO, LA TEMPERATURA DEL IC (4C) EN LA PARTE DEL SOPORTE DEL IC ES MANTENIDA CONSTANTE. POR ELLO, SE PUEDE AUMENTAR EL NUMERO DE IC PRECALENTADOS EN LA CAMARA DE TEMPERATURA CONSTANTE DE IC, SE PUEDE ALARGAR EL TIEMPO DE PERMANENCIA DEL PRECALENTAMIENTO, Y SE PUEDE MEJORAR EL ESPACIO EFICIENTE EN LA CAMARA.
申请公布号 ES2142523(T3) 申请公布日期 2000.04.16
申请号 ES19960110820T 申请日期 1996.07.04
申请人 SINANO ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 ITOH, MASATO
分类号 G01R31/26;B25J15/06;F24F5/00;G01R31/28;H01L21/687;(IPC1-7):G01R31/316;H01L21/00 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址