| 发明名称 | 将来自光波导的光重定向的器件 | ||
| 摘要 | 本器件是在绝缘体基外延硅芯片(它包括一个硅层(1),绝缘层(2)将硅层与衬底(3)分开)上形成的,本器件包括一个形成于硅层(1)的集成波导(4)和一个形成在硅层(1)的凹槽内的反射面(6)。反射面定位成把光重定向在希望的方向上。波导(4)和反射面(6)都形成在硅层(1)上,所以它们的位置可以由同一光刻步骤限定,从而它们自动相互对准。 | ||
| 申请公布号 | CN1251660A | 申请公布日期 | 2000.04.26 |
| 申请号 | CN98803862.5 | 申请日期 | 1998.02.06 |
| 申请人 | 布克哈姆技术有限公司 | 发明人 | A·P·R·哈平;A·G·里克曼;R·J·R·莫里斯;S·戈尔顿;M·阿斯格哈里 |
| 分类号 | G02B6/42 | 主分类号 | G02B6/42 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 邹光新;张志醒 |
| 主权项 | 1.一种用于把来自绝缘体基外延硅芯片上的光波导的光重新定向的器件，所述绝缘体基外延硅芯片包括一硅层，一绝缘层将所述硅层与衬底分开，所述器件包括一个形成于硅层上的集成波导和一个形成于硅层的凹槽内的反射面，该反射面被定位成接收来自于波导的光，并倾斜以便把光重新定向在期望的方向上，由于波导和反射面都形成于硅层上，因此它们的位置可以由同一光刻步骤限定。 | ||
| 地址 | 英国牛津郡 | ||