| 摘要 |
<p>Selon l'invention, on applique (224) un revêtement d'un précurseur liquide contenant un métal sur une première électrode (122, 420), puis on cuit (226) ce revêtement sur une plaque chaude, dans une atmosphère ambiante à base d'oxygène, chauffée à une température n'excédant pas 300 °C, pendant cinq minutes, et on le recuit (228) par traitement thermique rapide, à une température de 675 °C, pendant trente secondes. On recuit (230) ensuite le revêtement dans une atmosphère ambiante à base d'oxygène ou d'azote, à 700 °C, pendant une heure, afin de former une couche mince (124, 422) d'un matériau en couche à super treillis dont l'épaisseur ne dépasse pas 100 nm. On applique une seconde électrode (126, 424), afin de former un condensateur, et on exécute un second recuit (234) dans une atmosphère ambiante à base d'oxygène ou d'azote, à une température ne dépassant pas 700 °C. Si le matériau est du tantalate de strontium bismuth, le précurseur contient u équivalents molaires de strontium, v équivalents molaires de bismuth, et w équivalents molaire de tantale, dans les quantités suivantes : 0,8 < u < 1,0, 2,0 < v < 2,3, et 1.9 < w < 2,1.</p> |
