| 主权项 |
1.一种制造形成薄膜的酚醛清漆树脂的方法,其中包括:a)在酸催化剂及反应溶剂存在下,将甲醛与一种或多种酚化合物缩合,反应溶剂为单氧基单羧酸酯,并藉此制造酚醛清漆树脂聚合的缩合产物;b)将水加入反应混合物中,藉此形成两层溶液,上层包括水中的未反应酚化合物及酚醛清漆寡聚体和单体,而下层包括反应溶剂中的剩余反应混合物溶液,然后将上层除去;c)将水溶性有机极性溶剂和水加入剩余的下层溶液中,以水溶性有机极性溶剂:水为5:95至95:5的比例混合,并藉此再次形成两层溶液,底层包括反应溶剂中的酚醛清漆树脂缩合产物之溶液,而上层包括之溶液为低分子量的酚醛清漆、酚醛清漆寡聚体和酚醛清漆单体在含有水/水溶性有机极性溶剂/反应溶剂之溶剂中,接着除去上层溶液;d)重覆步骤b)和c)2至10次;e)以含有反应溶剂之溶剂稀释剩余的酚醛清漆树脂溶液,并除去剩余的水和水溶性有机极性溶剂,藉此制造形成薄膜、分级的酚醛清漆树脂。2.根据申请专利范围第1项之方法,其中该酸催化剂为草酸、马林酸、马林酸酐、硫酸或对甲苯磺酸。3.根据申请专利范围第1项之方法,其中水溶性有机极性溶剂为丙酮或C1-C3烷基醇。4.根据申请专利范围第1项之方法,其中反应溶剂为单氧基单羧酸酯。5.一种方法,其为制造具有优越石版术性能的正型光阻剂组合物,其中包括:a)在酸催化剂及反应溶剂存在下,将甲醛与一种或多种酚化合物缩合,反应溶剂为单氧基单羧酸酯;b)将水加入反应混合物中,藉此形成两层溶液,上层包括水中的未反应酚化合物及酚醛清漆寡聚体和单体,而下层包括反应溶剂中的剩余反应混合物溶液,然后将上层除去;c)将水溶性有机极性溶剂和水加入剩余的下层溶液中,以水溶性有机极性溶剂:水为5:95至95:5的比例混合,并藉此再次形成两层溶液,底层包括反应溶剂中的酚醛清漆树脂缩合产物之溶液,而上层包括之溶液为低分子量的酚醛清漆、酚醛清漆寡聚体和酚醛清漆单体在含有水/水溶性有机极性溶剂/反应溶剂之溶剂中,接着除去上层溶液;d)重覆步骤b)和c)2至10次;e)以含有反应溶剂之溶剂稀释剩余的酚醛清漆树脂溶液,并除去剩余的水和水溶性有机极性溶剂,藉此制造形成薄膜、分级的酚醛清漆树脂;然后f)提供混合物:1)足量对光阻组合物感光的感光剂成份;2)由步骤e)形成酚醛清漆树脂的膜;和3)适合的光阻剂溶剂,其含有与反应溶剂相同之溶剂,并藉此形成光阻组合物。6.根据申请专利范围第5项之方法,其中该酸催化剂为草酸、马林酸、马林酸酐、硫酸或对甲苯磺酸。7.根据申请专利范围第5项之方法,其中水溶性有机极性溶剂为丙酮或C1-C3烷基醇。8.根据申请专利范围第5项之方法,其中反应溶剂为单氧基单羧酸酯。9.一种制造半导体装置的方法,其系藉着以正型作用的光阻组合物涂布在适当的基材上,在基材上产生光映像,其中包括:a)在酸催化剂及反应溶剂存在下,将甲醛与一种或多种酚化合物缩合,反应溶剂为单氧基单羧酸酯,并藉此制造酚醛清漆树脂聚合的缩合产物;b)将水加入反应混合物中,藉此形成两层溶液,上层包括水中的未反应酚化合物溶液,而下层包括反应溶剂中的剩余反应混合物溶液,然后将上层除去;c)将水溶性有机极性溶剂和水加入剩余的下层溶液中,以水溶性有机极性溶剂:水为5:95至95:5的比例混合,并藉此再次形成两层溶液,底层包括反应溶剂中的酚醛清漆树脂缩合产物之溶液,而上层包括之溶液为低分子量的酚醛清漆、酚醛清漆寡聚体和酚醛清漆单体在含有水/水溶性有机极性溶剂/反应溶剂之溶剂中,接着除去上层溶液;d)重覆步骤b)和c)2至10次;e)以含有反应溶剂之溶剂稀释剩余的酚醛清漆树脂溶液,并除去剩余的水和水溶性有机极性溶剂,藉此制造形成薄膜、分级的酚醛清漆树脂;f)提供混合物:1)足量对光阻组合物感光的感光剂成份;2)由步骤e)形成酚醛清漆树脂的膜;和3)适合的光阻剂溶剂,其含有单氧基单羧酸酯,并藉此形成光阻组合物;g)以步骤f)的光阻组合物涂布在适当的基材上;h)将步骤g)的涂膜基材加热处理,直到实质上所有的光阻剂溶剂去除掉,以映像的方法将光阻组合物曝晒,并以适当的显影剂,如水性的硷显影剂来去除此组合物以映像曝光的区域。10.根据申请专利范围第9项的方法,其中该酸催化剂为草酸、马林酸、马林酸酐、硫酸或对甲苯磺酸。11.根据申请专利范围第9项之方法,其中水溶性有机极性溶剂为丙酮或C1-C3烷基醇。12.根据申请专利范围第9项之方法,其中反应溶剂为单氧基单羧酸酯。 |
